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第4章

云野熟读光刻机架构,也明白光刻机工作原理。

光刻机的工作原理有点像用光刻印章在硅片上画电路。

在硅片上涂一层光敏胶,然后通过一块刻有电路图案的掩膜板,用紫外光照射。光线穿过模板的图案后,经过精密透镜系统将图案缩小到纳米级别,投射到硅片的光敏胶上。

此时被光照到的胶会变硬或溶解。洗掉溶解的部分后,暴露的硅片区域会被化学腐蚀或离子注入,最终形成微小的晶体管和电

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